Профилометр ПИК-30М интерференционный компьютерный
ПИК-30М предназначен для измерения относительных высот профиля поверхности (топограмм) полированных изделий, в том числе подложек сферических зеркал, диаметр которых не превышает 30 мм, высота не превышает 10 мм, а радиус кривизны лежит в диапазоне от 2 м до 7 м.
ПИК-30М позволяет работать с полированными изделиями без зеркального покрытия, коэффициент отражения которых не менее 4%.
ПИК-30М позволяет измерять участки крупногабаритных деталей до 150 мм.
Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от плоского зеркала и поверхности измеряемого изделия. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина.
Прибор ПИК-30М состоит из двух частей: интерферометра и блока управления и обработки информации.
В интерферометре световой поток от He-Ne лазера, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометра. В предметном плече располагается исследуемое изделие, закрепленное в специальной оправке, в опорном – плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора – ПЗС камеры.
Компьютерная расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого плоским зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограммы) относительно начальной точки, выбираемой оператором.
Программное обеспечение ПИК-30М для обработки полученных топограмм позволяет вычислять:
- Радиус кривизны сферических поверхностей;
- Среднее квадратическое отклонение и предельное отклонение измеренной топограммы от плоской и сферической поверхности;
- «Децентровку» сферической поверхности относительно геометрического центра подложки сферического зеркала в диапазоне от 0,1 мм до 5,0 мм.
Технические характеристики ПИК-30М:
| Поле зрения | 30?40 мм |
| Диапазон измерений высоты профиля поверхности | 0,005 ? 30 мкм |
| Диапазон измерения радиуса кривизны | 2000 ? 7000 мм |
| Разрешающая способность — в плоскости XY — по оси Z | 0,1 мм 0,006 мкм |
| Источник излучения | лазер |
| Длина волны излучения | 0,632 мкм |
| Алгоритм реконструкции | метод фазовых шагов |
| Размерность изображения | 1392?1040 пикселей |
| Время измерения высоты профиля поверхности, не более | 30 сек |
| Электропитание от сети переменного тока – напряжение питания – частота | 220 ± 22 В 50 ± 1 Гц |
| Потребляемая мощность, не более | 350 Вт |
| Габаритные размеры профилометра | 220?400?480 мм |
| Масса профилометра | 40 кг |
